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高靈敏度氣體洩漏偵測器 (Gas Detector)
- 特殊氣體專精監測 突破傳統感測限制，專精於偵測半導體製程中關鍵且難以監測的特殊氣體，如 C4F6 (六氟丁二烯)、C5F8 (八氟環戊烯)、COS (硫化碳) 等，以及各類劇毒氣體，為高風險製程提供精確數據。
- 智慧流路與自我診斷 內建高效幫浦與自動流量控制系統，具備全時自我診斷功能。一旦發生感測器異常、流量不穩或通信中斷，螢幕將即時顯示警報並回報故障代碼，大幅降低維護門檻與意外風險。
- 無縫系統整合 支援工業標準 4~20mA 類比訊號輸出，可直接對接廠務監控系統 (FDC) 或遠端控制中心，實現即時數據連線與自動化防災管理。
真空腔體即時測漏系統 (Satellite-Air Leak Sensor)
O2 Sensor Air Leak
專為半導體先進製程設計，本款 O2 Sensor 採用突破性的固態感測技術，克服了傳統真空計無法分辨氣體種類的限制，能為真空腔體提供最精確、純粹的氧氣濃度分析數據。
- 全域量測能力：壓力涵蓋 1E-7 Torr 至大氣壓，濃度從 1E-26 ppm 至 100%，實現真空與大氣環境的連續監測。
- 長效耐用設計：具備高抗汙染性，典型壽命達 17,500 小時（約兩年），大幅降低維護成本。
- 極簡化安裝：無需差動排氣，省空間且無震動干擾。
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