真空壓力計與電控維修保養服務

深耕半導體製程穩定，提供關鍵組件之高精度維修服務，致力於檢修與效能優化。

專業真空壓力計維修

我們專注於半導體製程中常見的壓力計維修，提供檢測、修復、功能確認與完整驗證。

1. 品牌支援：

   以 MKS 維修為核心（專注 Baratron 系列），並針對現場常見之 Edwards 壓力計提供維修與功能確認支援。
   
   

2. 服務重點：

   我們提供一站式除汙及相關認證服務，確保設備符合新廠區或跨國搬遷的嚴苛標準：
   
   • 製程友善： 針對製程等污染環境中常見的異常狀況進行優化處理。
   • 交付透明： 詳盡提供維修前後的狀態說明與必要測試報告，妥善率信用可靠。
   • 穩定度導向： 驗證重點涵蓋輸出穩定性、數據重複性，以及精確的數據表現。
     

MKS 壓力計支援型號與壓力範圍一覽表

我們支援 0.05 torr 至 1000 torr 的廣泛壓力測量範圍，涵蓋以下型號：

加熱器精密翻新　Heater Overhaul Service

• 極致平坦：透過精密研磨，平坦度優化至 9.2µm。
• 高溫驗證：通過 400°C 熱均勻性測試，確保製程穩定。
• 成本效益：取代昂貴換新，以低成本重現原廠級效能。

電控項目維修支援

為提供客戶一站式的服務體驗，我們針對常見電控組件提供維修支援（依機型與故障狀況進行評估）。

• 精密電路板 (PCB)：
  • 各式介面主機板、工業電腦主機板
  • Zygo Laser PCB、I/O Board 等關鍵零組件

    

• 伺服驅動器 (Servo Driver)：
  • 支援品牌：Mitsubishi (三菱)、Justek、YASKAWA (安川) 等各式驅動器維修。

    

• 精密馬達 (Motor)：
  • 支援品牌：Mitsubishi、SANYO、NEC、YASKAWA 等。