監控系統

● 用於半導體、LCD 面板及光電業的各類機器系統， 以 ”外掛”sensor 的方式來設計監控系統，依照客戶端需求設計，在不影響機台系統的運作下進行監控。

● 可與CIM連線，讓User利用遠端遙控功能，在Office連線Server作資料查詢，並可將資料上傳SPC或FDC。

● 機台監控項目包含震動、轉速、壓力、流量及溫度監控等。

震動監控系統

• • Vibration Sensor 安裝後，使用電腦做FFT轉換(傅立葉轉換)，找出此 pump(或設備)的振動特徵值。
  • 將振動特徵值寫入 Sensor中，Sensor 即會在每次量測後將振動特徵值送給 Signal Converter 。
  • Signal Converter 將振動特徵值做資料整理後，透過環狀網路送至 FDC。
  • PC 將振動特徵值寫入 Sensor 後，即可撤除 。