● 用於半導體、LCD 面板及光電業的各類機器系統, 以 ”外掛”sensor 的方式來設計監控系統,依照客戶端需求設計,在不影響機台系統的運作下進行監控。
● 可與CIM連線,讓User利用遠端遙控功能,在Office連線Server作資料查詢,並可將資料上傳SPC或FDC。
● 機台監控項目包含震動、轉速、壓力、流量及溫度監控等。