零件耗材類產品

● 零件耗材 Parts

工業燈、O-ring、Filter濾芯、Sapphire Window、Lens等…。

O-ring	Sapphire Window	工業燈	Filter 濾芯

● 抗菌濾芯 Anti-Bacteria Filter

本公司提供優良品質、高CP值的電子級抗菌濾芯 Anti-Bacteria Series Filter，全方位解決客戶需求，有效延長機台PM時間，提高產品良率。

• 非溶出型聚丙烯超细纖維抗菌濾材
  

► 摺疊抗菌濾心 Antibacterial Pleated Filter Cartridge
► 深層式熔噴抗菌 Antibacterial Depth Melt-blown Filter Cartridge
► 高流量抗菌濾心 Antibacterial High Flow Filter Cartridge

零件耗材&半導體代理產品

PVD MCA ESC及HDP ESC 維修、LAM 及AMAT ETCH ESC 維修、Implanter離子植入機零組件翻修、半導體用燈泡(RTP/EPI)、Gate/Slit Valve 及 Throttle Valve 維修、Pump 真空幫浦維修。

● 300mm AMAT Implanter VIISTA HC/Trident/MC 離子植入機零組件維修

VIISTA MC Mass Slit	VIISTA HC/Trident/MC Cartridge	VIISTA HC/Trident/MC Roplat Tilter
VIISTA HC/MC LED Orient	VIISTA HC/Trident/MC Elevator	VIISTA 80/810 Manipulator

半導體 RTP 快速升溫/退火,及 EPI磊晶設備用燈泡 Lamp

● AMAT  RTP 快速升溫/退火用 Lamp 型號與規格

● AMAT EPI 磊晶設備用Lamp 型號與規格